器件破坏性物理分析及缺陷定位

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器件破坏性物理分析及缺陷定位

根据元器件失效背景数据,制定破坏性物理分析方案,以失效机理研究为目的,找出器件失效的根本原因,以提高产品质量及规避损失。

1)元器件电性能失效定位

2)晶圆缺陷定位

3)器件封装缺陷定位

4)器件失效机理研究

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