根据元器件失效背景数据,制定破坏性物理分析方案,以失效机理研究为目的,找出器件失效的根本原因,以提高产品质量及规避损失。
1)元器件电性能失效定位
2)晶圆缺陷定位
3)器件封装缺陷定位
4)器件失效机理研究
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